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東方馬達
Oriental motor
步進馬達 真空型

真空型 系列

備有可在10-5~10-4Pa真空環境下使用的真空型步進馬達。
最適合用於在真空中使用的機器之動力。

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真空型馬達的特徵與構造

為了抑制氣體釋放,馬達外殼使用鋁、不鏽鋼材質,表面不塗裝。此外,軸承使用真空用潤滑油。
釋放的氣體與通常潔淨環境下的成分相同,因此無須擔心污染真空環境。
使用可承受熱處理溫度的耐熱用線圈。

 

真空型馬達的優點

 ▌使設備小型化,擴大設計的自由度


在大氣中設置馬達時,需使用運轉導入機等,設備體積會變大。真空型馬達可將設置於真空環境內,因此可讓設備小型化。
此外,αSTEP AR系列不需要位置確認用檢知器,有助於降低成本。 

 

 

  • 由於是αSTEP AR系列,位置監視時不需要編碼器
    αSTEP AR系列除了透過閉回路控制監視馬達資訊外,還搭載各種警示輸出功能。不需要真空對應型的昂貴編碼器。

搭載轉子位置檢知器(Resolver),可檢知馬達資訊並控制馬達。

 

 

 ▌在真空中實現各種動作


常用於各式各樣的用途,如半導體製造設備及電子顯微鏡的測量機器等。

真空型馬達可對應真空環境下的多軸平台,解決難以設計運轉導入機的問題。可在真空中組合複數軸,實現更複雜的動作。

 

  • 低損失的αSTEP AR系列,最適合用在真空中解析、加工等用途
    常被運用於低真空中的物質解析、高輸出雷射加工、真空鍍膜等需要在真空環境下定位的用途。

 

有助於維持真空環境的品質

 ▌抑制氣體釋放的設計


為了抑制產生氣體釋放,馬達表面無進行塗裝,軸承部使用真空用潤滑油。主要的殘留氣體與通常潔淨環境下的成分相同,使用時無須擔心污染真空室。

 

 ▌抑制溫度上升維持真空壓


通常,隨著馬達電流值增加,真空壓力會變高。馬達溫度上升主因是線圈或樹脂材料的水分蒸發增加而導致。若要讓真空壓維持較低狀態,重點在於讓馬達保持較低的溫度。


馬達電流值增加→馬達溫度上昇→馬達零件的水分蒸發→真空壓上昇

馬達電流―真空壓特性(通常模式)

 

αSTEP AR系列具有依據負載轉矩大小調整馬達電流的功能(CC模式)。使用CC模式可抑制馬達溫度,並使維持在低真空壓。

 

下圖為連續運轉及運轉週期比率(斷續運轉)時的轉速―溫度特性。

轉速―溫度特性(CC模式)

・即使是溫度容易升高的連續運轉,若轉速維持在900r/min以下,外表溫度不會超過100℃。

・500r/min週期運轉時的外殼溫度與各模式相比,CC模式時為46℃,通常模式時為80℃。CC模式的溫度低了34℃。

 

電源
輸入
系列名 基本步級角
[°]
真空度
[Pa]
安裝尺寸
[mm]
重量
[kg]
28 42 60 85
AC αSTEP AR系列真空型
0.36 10-5 - 0.47~1.9
DC 0.2~3

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