測量微液體流量時,遇到微氣泡該怎麼辦?

*2021.08製
當您測量微小流量時,是否希望在流量不穩定的狀況下,仍然可以精準量測?並且當液體中有微氣泡經過時,能即時將混亂的數值進行整定,同時持續量測!來自SONIC CORPORATION的超音波液體微流量計,能達到您以上的需求,並且有很高的準確度!
 
液體微流量計遇到微氣泡
 
對應產品:超音波液體微流量計 μLF-300系列
應用場所:塗佈設備、蝕刻設備、藥液填充、晶圓清洗設備…等
  
液體中的微氣泡也可以檢測到
當測量液體流量出現微氣泡時,流量計的響應性高低影響著測量結果的正確性以及精準度。
日本SONIC所製的超音波液體微流量計為高精密儀器,其檢測響應性10msec,為每秒100筆的檢測數據輸出,所以當微氣泡經過超音波量測區後再立即進行量測,大幅降低了因微氣泡造成的量測誤差值;還可以連接電腦並搭配軟體立即以圖表的方式顯示當前的瞬間流量,同步監控液體輸出的穩定性與變化,如下圖所示。

 

超音波微流量計流量監控
▲流量監控的應用,μLF系列具有高度響應性
搭配SONIC專屬軟體,可呈現最即時的瞬間流量數據,並可透過參數欄位快速修改調整,量測期間的瞬間流量累計總流量數據採CSV檔保存資料,讓液體相關產品開發者或品管單位,可以更清楚且方便的觀察及應用。

  

高響應性與高精度的數據檢測

針對測量液體中有微氣泡經過,影響您的數值,請洽廣億科技詢問! 

 
承上圖,使用超音波進行數位量測,可以收集到高響應的數據。可透過參數調整因微氣泡所產生混亂的數值進行整定,使檢測結果避免受到影響而異常(如右圖)。
 
反之,低響應性的產品,參數調整的準確性相對也較為未知,可能有無法量測的情形。

(下圖藍色區域內為奈米氣泡示意圖)

遇到微氣泡時數值整定

流量計精度規格
在量測精度方面,SONIC的液體流量計採用R.D.標示,此數據規格呈現的產品在滿流量時與F.S.相比具有較高的量測精度。而在低流量時,測量出的數值準確度較高,更接近流量的實際值!
 
備註:低流量範圍(依型號&配管管徑)精度是固定值,並非百分比。
 [延伸閱讀]精度規格表示法 
  
▍感測器與液體為非接觸式,有以下兩種產品規格
μLF系列感測器不需直接與流體接觸屬於非接觸式,不必擔心感測器發生劣化的情形。
搭配的配管是耐久性高的PFA材質,抗藥物液體腐蝕性較強。
 
形式
一體型 μLF-300
分離型 μLF-300S
超音波液體微流量計 μLF-300
超音波液體微流量計 μLF-300S
配管外徑
2分管
1分管
2分管
1分管
流量量測範圍
0~4000 ml/min
0~1000 ml/min
0~4000 ml/min
0~1000 ml/min
量測精度
±1% RD
(800~4000 ml/min)
±8 ml/min
(800 ml/min以下)
±1% RD
(200~1000 ml/min)
±2 ml/min
(200 ml/min以下)
±0.5% RD
(800~4000 ml/min)
±4 ml/min
(800 ml/min以下)
±0.5% RD
(200~1000 ml/min)
±1 ml/min
(200 ml/min以下)
響應性
10msec
輸出方式
數位:RS-422、RS-485
數位:RS-422、RS-485
類比:DC4-20mA
防護等級
相當於IP65

*無須切割配管的夾持式感測器:SLF 系列 (3分管以上)

  

▍現場測試服務
如果您對於量測流量有更高的精度要求、希望測量結果避免受到液體中微氣泡的影響,並且想要即時監測瞬間流量,本公司備有樣品可提供給您測試,以現場實測流量計的精度與響應性,讓您對產品有更高的信任度,再進一步討論購買流程。
 
 
歡迎您直接點選 聯絡我們,我們將立即針對您的需求提供解決方案! 
廣億科技諮詢與測試服務
 

[延伸閱讀]精準判讀細微流量的關鍵!

[延伸閱讀]超音波的量測原理&選用