小型化超音波微流量計：解決半導體設備空間不足的最佳方案
*2025.11製
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半導體製程中，晶圓塗佈與蝕刻階段對液體流量的精準控管，直接影響製程的一致性與產品良率。採用高精度且體積小的超音波液體微流量計，能即時監測流量變化，確保液體均勻分布與蝕刻深度穩定，進一步提升製程效率與產品品質。
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小型化超音波微流量計：解決半導體設備空間不足的最佳方案
SONIC的超音波液體微流量計體積小、不占空間，符合設備的空間條件，安裝方式更具彈性，可滿足製程對高精度流量監測的需求。
● 感測器小型化：適合內部空間狹小場域 (W90 x H25 x D20 mm)
● 輕量化：安裝上無需固定治具
● 數位崁入式裝置＋附屬螢幕顯示流量數值。
非接觸式量測：超音波液體微流量計採非接觸式量測方式，量測過程無需接觸液體，同時也不會產生堵塞或汙染問題。
高精度：μLF-300Ｓ系列的測量精度皆是以瞬時流量(R.D.*)標示，於高流量可維持良好精度，而在低流量區段更能展現其量測優勢，量測值更接近實際流量。
*R.D. = Reading 代表意思為〔誤差值／瞬間流量〕x 100%
● 晶圓製程：
由於自製泵浦的空間有限，SONIC流量計的小型化設計正好滿足需求，不僅解決空間受限的問題，也滿足我們的精度要求。此外，使用高精度流量計後，無需另搭配泵浦，可依靠準確的流量回饋搭配閥件控制，精準調節製程用的液體流量。
由於自製泵浦的空間有限，SONIC流量計的小型化設計正好滿足需求，不僅解決空間受限的問題，也滿足我們的精度要求。此外，使用高精度流量計後，無需另搭配泵浦，可依靠準確的流量回饋搭配閥件控制，精準調節製程用的液體流量。
● 濕製程：
實際使用μLF-300S+μLT-8I及 μLF-300S+μLT-4I後，覺得精度和重現性都很穩定。調整Smoothing Filter後，也能對應像氣泡、瞬間流量波動、紊流等不同情況，量測結果跟實際值非常接近。
此外，產品本身的配置相當簡單，對我們受限的機構空間來說，完全符合有限的空間要求。
實際使用μLF-300S+μLT-8I及 μLF-300S+μLT-4I後，覺得精度和重現性都很穩定。調整Smoothing Filter後，也能對應像氣泡、瞬間流量波動、紊流等不同情況，量測結果跟實際值非常接近。
此外，產品本身的配置相當簡單，對我們受限的機構空間來說，完全符合有限的空間要求。
● 其他製程：
- SONIC流量計具有循環回授功能，只需發送指令並設定通訊週期，就能持續將量測資料回授給上位控制器，非常方便。
- SENSOR體積更小，相較於他牌更適合安裝於噴塗前端位置。
- 少了訊號放大器需安置，在設備內部空間有限的情況下更容易安裝。
- 以水搭配順流泵浦進行測試，在未調整任何參數的情況下，即可量測出與實際值非常相近的流量。μLF-300S＋μLT-4I在精度及重現性上的表現都很不錯。
- 實測在2 ml/min的條件下亦能精準量測，滿足設備對低流量監測的需求。
歡迎與我們討論您的需求，我們將為您提供客製化的解決提案，協助您達成量測目標。
▼ SONIC超音波液體微流量計 微小流量精度實測
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