XY中空定位平台 :: 東佑達奈米系統 TOYO NANO :: 廣億科技

XY中空定位平台

系列

商品特徵

規格概要

LXY-Y

．低阻力摩擦設計
．大中空型設計
．多樣式導軌設計

．重複定位精度：±0.3μm
．速度漣波：0.4%
．直線/平面度：±2μm

LXY-G

．低阻力摩擦設計
．大中空型設計
．多樣式軌道設計

．重複定位精度：±1μm
．速度漣波：0.5%
．直線/平面度：±3μm