提升精度、改善振動，進入7奈米以下的先進製程
*2025.12製
|
隨著半導體技術持續向先進製程、先進封裝領域發展，業主對於「精度」的要求也越來越高。
踏入奈米級領域的關鍵元件：壓電滑台（Piezo Stage）、主動式除振台 |
提升精度、改善振動，進入7奈米以下的先進製程
▌奈米級定位：壓電滑台
針對超高精度要求，以及對機械結構造成精度誤差極度敏感的應用場景，例如：半導體先進製程的晶圓chuck移動、晶圓封裝、膜厚檢測…等，皆需具備奈米級的移載定位能力，而我們可以利用壓電滑台來達成需求。
然而，即使採用具備 1 奈米定位精度的精密元件，設備在實務上仍可能無法達到先進製程所需的精度。
其主因往往來自外在環境與組裝條件的綜合影響，例如：結構剛性不足、振動干擾、溫度變化、風場氣流、異材質結合、組裝誤差，或控制系統調校未最佳化…等。
其中，「振動」對奈米級應用的影響尤為關鍵，即便是幾乎無法察覺的微小振動，都會影響壓電滑台的表現。
▌振動來源有哪些，如何改善振動？
一般常見的振動來源，包含操作人員的走動、建築物與地面共振等因素，但進到奈米級領域後，即使操作人員站在核心部件附近沒有太大的操作動作，都會對壓電滑台造成干擾。
要有效解決振動問題，首要步驟是判斷振動來源，並依設備重量、移載時的重心變化比例、設備高低重心與周遭環境條件等因素，挑選合適的防振產品。
▲ 防振、除振與制振三大振動控制
|
若要滿足奈米領域的操作需求，環境穩定性與微振動控制缺一不可，因此需要搭配合適的除振產品以提升工作平台的 VC-curve 等級。
主動式除振台能從近乎 0 Hz 起抑制環境微振動，是最有效的振動控制方式，同時也是設備進入奈米領域的關鍵要素。 |
▲ VC 曲線圖 |
若您想進一步了解微振動處理技術，歡迎聯繫廣億科技。我們可依您的需求無償舉辦技術研討會，協助您在機台設計初期就能預先辨識並處理可能的振動問題。
▌日本 THK PRECISION
廣億科技代理的壓電滑台品牌「THK PRECISION（THKプレシジョン株式会社）」，是日本超精密定位壓電滑台、壓電馬達滑台與應力感測器產品的頂尖品牌。
▎壓電滑台產品特色
| ● 高解析度 - 1 奈米 極細微的移動解析度。 - 內置回授控制用的靜電容量式位移計，能達到高信賴性的反覆定位。 |
 |
| ● 高速響應 - 輸入信號與滑台實際動作，兩者相差僅在毫秒之間。 - 即使給予複雜的移動指令，也可精準的根據指令移動（應用舉例：高階晶圓膜厚檢測機）。 |
 |
| ● 無需維護保養 - 移動檯面由彈性鉸鏈機構支撐，無接觸設計、無磨耗問題。經長時間使用，也不會產生精度劣化。 - 由於不使用潤滑劑，因此不會有揮發物，使用時也無需維護保養。 |
 |
▎多種系列的壓電滑台
THK PRECISION依據不同的精度與應用場景，除了標準六軸方向外，也提供多款專用型壓電滑台，適用於反射鏡、繞射光柵製程與奈米／微米級超精密加工等高精度應用。
▶ 立即前往：壓電滑台全系列
▎客製化服務：滿足嚴苛需求
若現有系列中仍無法滿足您的需求，歡迎提出客製化規格。我們可在維持超高精度的前提下，依據使用環境、外型尺寸、行程、精度、載重等條件進行設計調整，也可針對材質( 包含：鋁合金、鋼鐵、不鏽鋼、鈦合金、Invar )進行客製化。
不論是光纖耦合對位、晶圓chuck移動、膜厚檢測等應用場景，我們都能根據您的需求與使用條件，提供最適提案。
不論是光纖耦合對位、晶圓chuck移動、膜厚檢測等應用場景，我們都能根據您的需求與使用條件，提供最適提案。
▶ 更多客製化案例：遍尋不著合適的壓電滑台產品嗎？可與我們聊聊客製化設計！
▌安心選擇 交給廣億科技！
廣億科技不僅銷售國內外頂尖品牌，更有專業的技術人員可以與您規劃設計方向，請放心的與我們討論您的需求。
▍聯絡我們：前往諮詢表單
▍電話諮詢：02-8227-8977
