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壓電馬達滑台

LS 系列

Piezo motor stage
.數十mm移動行程保有20nm解析度
.具摩擦保持力
.對應真空環境
.具高推力
.可客製化

數量:
加入詢價

mm~数十mmのストロークを2040nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。

アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®アクチュエータを採用したステージです。

アクチュエータ推力に6Nタイプと20Nタイプがあり、静止時も推力とほぼ同じ保持力を維持し、静止時の安定性, 外乱に対し高い位置精度を保ちます。

本体材質としてアルミ製モデルとSUS製モデルを用意しています。

A high-accuracy stage capable of positioning and controlling a stroke of several to tens of millimeters with a high resolution of 20 to 40 nm. For the actuator of this stage, PiezoMotor’s PiezoLEGS® actuator is adopted. With two types in the actuator thrust, 6 N and 20 N, offered, the stage maintains a holding force almost equal to the thrust even when it is static, and ensures stability in static state, and high positioning accuracy against disturbance. This stage is available in two models in body material, an aluminum model and a stainless steel model.

 

特徵
Features
  • スリムで省スペース
  • 自己発熱が少ない
  • 真空環境対応、非磁性対応
  • リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性

 

  • Space-saving with a slim body
  • Generates less heat itself
  • A type with a vacuum environment, a non magnetic type
  • High positional repeatability with a built-in liner encoder

製品応用例
Application
  • 光学系の高精度位置決め
  • レーザーアライメント
  • 精密マッピング測定
  • X線/分析・測定装置
  • 顕微鏡用試料ステージ
  • 位置調整後に静止保持する用途

これらの用途において、主に定点位置決めを要する用途や位置調整後電源を切り静止保持する用途の場合は非常に有効です。

ピエゾモータステージ用

 

  • High-accuracy positioning of an optical system
  • Laser alignment
  • Precision mapping measurement
  • X-ray/analysis and measuring equipment
  • Specimen stage for microscopes
  • Application in which the object is to be held static after position adjustment

The product is very effective in applications where fixed-point positioning is mainly required or applications where the object is held static as the product is turned off after positioning.

 

制御コントローラ
Controller for Piezo motor stage

THK PRECISION _ 精密馬達滑台_ 壓電馬達滑台_ 產品介紹LS系列

LSタイプピエゾモータステージを駆動制御するためのコントローラです。
制御回路、ドライバを一体型とし、ピエゾモータステージを接続することによりABZ相出力の光学式リニアエンコーダによるクローズド制御を行うことができます。
2軸用制御コントローラと4軸用制御コントローラをベースに14軸制御コントローラを用意しております。
制御は、LANまたはRS485インターフェースを介し、PCより制御コマンドを送ることにより簡単に動作可能です。また、RS232Cインターフェースへの変更も対応します。

This product is a controller intended to drive and control an LS-type piezo motor stage.
In the controller, a control circuit and a driver are structurally integrated. If a piezo motor stage is connected to the controller, it can perform closed control using an optical linear encoder with an ABZ-phase output.
Based on a controller for two-axis stages and a controller for four-axis stages, controllers for controlling one to four axes are offered.
The user can easily operate the controller by transmitting a control command from the computer via a LAN or an RS485 interface. The interface can be changed to an RS232C interface.

 

特徵
Features
  • 制御基板、ドライバ基板、リニアセンサインタポレータを内蔵し、内部はRS485によるチェーン接続をし、多軸化にも対応可能(リニアセンサにより異なります。
  • ステージに対応した14軸制御コントローラと接続すれば、すぐに高分解能な位置決め制御ができます。
  • 10nm分解能のリニアセンサと1nm以下の駆動分解能のドライバによる駆動制御です。
  • 駆動分解能が1nm以下ですので、標準以外のより高精度なリニアセンサにも対応できます。
  • 内部制御基板の接続がRS485によるチェーン接続ですので、多軸化(最大127軸)にも対応できます。

 

  • It contains a control board, a driver board and a linear sensor interpolator. Being chain-connected via RS485 inside,the controller also supports multi-axis application (depending on the linear sensor).
  • Once the controller for controlling one, two, three or four axes is connected to the corresponding stage, it can immediately perform high-resolution positioning control.
  • The drive control is achieved with a linear sensor having a resolution of 10 nm and a driver having a drive resolution of 1 nm or below.
  • Since the drive resolution is 1 nm or below, the controller can also adapt to more accurate linear sensor other than the standard sensor.
  • Since the internal control board is chain-connected via RS485, the controller also supports multi-axis application (127 axes at a maximum).


THK PRECISION _ 精密馬達滑台_ 壓電馬達滑台_ LS系列 產品規格表 

型號

 

軸向

 

行程
[mm]

解析度
[nm]

最大移動速度
[mm/sec]

載重
[kg]

外型尺寸
[mm]

LS1L46-08B-06

X

±4

40

5

1

46×46×18

LS1L60-08B-06

X

±4

40

5

1

60×80×24

LS1L60F-08B-06

X

±4

40

5

1

60×80×24

LS1L90-16A-06

X

±8

20

5

2

90×110×26

LS1L90-16A-20

X

±8

20

5

2

90×110×26

LS1L90F-16A-06

X

±8

20

5

2

90×110×26

LS1L90F-16A-20

X

±8

20

5

2

90×110×26

LS1L90-16B-06

X

±8

40

5

2

90×110×26

LS1L90-16B-20

X

±8

40

5

2

90×110×26

LS1L90F-16B-06

X

±8

40

5

2

90×110×26

LS1L90F-16B-20

X

±8

40

5

2

90×110×26

LS1L120-25A-06

X

±12.5

20

5

3

120×140×26

LS1L120-25A-20

X

±12.5

20

5

3

120×140×26

LS1L120F-25A-06

X

±12.5

20

5

3

120×140×26

LS1L120F-25A-20

X

±12.5

20

5

3

120×140×26

LS1L120-25B-06

X

±12.5

40

5

3

120×140×26

LS1L120-25B-20

X

±12.5

40

5

3

120×140×26

LS1L120F-25B-06

X

±12.5

40

5

3

120×140×26

LS1L120F-25B-20

X

±12.5

40

5

3

120×140×26

LS2K180-16B-06

XY

±8

40

5

2

180×230×36

 

 

控制器

型號

 

軸向

 

光學線性傳感器類型

 

控制介面

 

外型尺寸
[mm]

LC421A

1

Renishaw

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC421B

1

NanoControl

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC422A

2

Renishaw

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC422B

2

NanoControl

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC443A

3

Renishaw

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC443B

3

NanoControl

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)

LC444A

4

Renishaw

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

不包括突起)

LC444B

4

NanoControl

LAN,RS485(標準配備)

USB,RS232C(選配)

W210×D228×H60

(不包括突起)