主動式除震台

系列
商品特徵
規格概要
.氣壓控制型主動式除震台
.具FF、FB等主動式控制模式
.適用於半導體製造設備、
 高精度檢查設備
.輸入電源:
 單相50/60Hz
 AC 85~264V
.單顆支撐載重範圍:
 290 ~ 3950kg
.線性馬達型主動式除震台
.具FF、FB等主動式控制模式
.適用於掃描型探針顯微鏡、
 掃描型電子顯微鏡
.輸入電源:
 單相50/60Hz
 AC 85~264V
.單顆支撐載重範圍:
 30 ~ 750kg