超精密定位用壓電滑台

系列
商品特徵
規格概要
PS
Standard linear stages
.1~3軸為一體式構造
.可客製化
.反覆定位精度1~30nm
PK
Stages with an opening
.中央有開口,適用雷射穿透
 元件、分析儀器
.可客製化
.反覆定位精度1~10nm
PT
Rotary/tilting stages
.可用於反射鏡、繞射光柵
 製程
.可客製化
回轉型
.反覆定位精度±0.05''[秒]

傾角型、傾斜型
.反覆定位精度±0.02''[秒]
PT
For optical mirror alignment
.可客製化
.反覆定位精度±0.05''[秒]
PF
For objective lens focusing
.高速高精度焦距調整
.可客製化
.反覆定位精度1~20nm
PU
A stage for ultraprecision processing machinery
.實現奈米/微米等級超精密
 加工
.可客製化
.反覆定位精度1~2nm
PG
A general-purpose type with a strain gauge
.感應器屬於應變計型式
 (電阻式)
.可客製化
如有需求歡迎來電或來信洽詢
PE
Simple actuator
.可客製化
.最高共振頻率3500Hz
PP
Impact actuator
.利用高響應伸縮施以打擊力
.可客製化
.最大產生力850N
Moisture-resistant / for special environments
.可客製化
如有需求歡迎來電或來信洽詢
Controllers
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PH
Piezo drivers
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