用於半導體製造過程中的微小流量控制，例如IPA，純水，化學溶液
● 通過超音波信號處理高精度測量微小流量
● 感測器與藥液為非接觸式結構
● 廣泛的可調性
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◆ 數位系統崁入式專用
◆ 使用操作容易、構造簡單 ◆ 具RS-422或RS-485通訊功能 ◆ 可自由決定安裝方向 |
◇ 數位崁入式裝置 + 附屬螢幕可確認流量數值
◇ 過濾微氣泡雜訊，量測更平穩 ◇ 提供數位與類比二種輸出入的介面 ◇ 感測器小型化，更有利狹小空間 |
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SONIC CORPORATION
μLF300系列 一體型、分離型流量計
【每次50cc】水+微氣泡流量測試
| 轉換器 | |
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型號 |
μLF-300S(轉換器)+μLT-8I(1/8 inch)、 μLF-300S(轉換器)+μLT-4I(1/4 inch) |
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測定原理 |
超音波傳播時間差 |
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可測量液體種類 |
水、各種藥液 |
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* 水以外的液體，請事先諮詢 |
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液體溫度範圍 |
15℃～80℃ |
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液體壓力 |
0.5MPa 以下 |
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液體動黏度 |
100mm^2/sec 以下 |
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流量量測範圍 |
0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
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0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I) |
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量測精度 |
±0.5%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min 室溫，水的情況下) |
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±1ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min) |
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±0.5%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min室溫，水的情況下) |
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±4ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min) |
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再現性 |
±0.2% (液體溫度±0.5℃, 30秒平均值) |
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電源 |
DC 24V ±10% |
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消耗電力 |
3.6W以下 |
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重量 |
轉換器 240g、感測器 70g |
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體積 W x H x D (mm) |
轉換器97 x 49 x 127 |
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感測器90 x 25 x 20 (包含配管) |
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感測器 |
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配管材質 |
PFA (氟樹脂) |
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配管外徑 |
1/8 inch OD：3.17mm、ID：2.17mm |
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1/4 inch OD：6.35mm,、ID：4.35mm |
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構造 |
相當於IP65 |
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連接線 |
標準5m(可延長到30m) |
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輸出端子 |
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數位輸出入 |
4線式RS-422, 4線式RS-485 |
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類比輸出 |
4-20mA (瞬間流量)，負載電阻500Ω以下 |
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累計脈波輸出 |
1ch (開極集) |
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Alarm輸出 |
1ch (開極集) |
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接點輸出 |
1ch (0流量設定集累計清除) |
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按鍵輸入 |
4個輸入按鈕 |
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轉換器 |
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型號 |
μLF-308I (1/8 inch)、μLF-304I (1/4 inch) |
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測定原理 |
超音波傳播時間差 |
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可測量液體種類 |
水、各種藥液 |
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* 水以外的液體，請事先諮詢 |
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液體溫度範圍 |
10℃～60℃ |
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* 60℃以上請事先諮詢 |
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環境溫度範圍 |
0℃～50℃ (不結霜的情形下) |
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流量範圍 |
0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-308I) |
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0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-304I) |
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測定精度 |
±1%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min 室溫，水的情況下) |
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±2ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min) |
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±1%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min 室溫，水的情況下) |
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±8ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min) |
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再現性 |
±0.2% (液體溫度±0.5℃, 30秒平均值) |
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響應性 |
10 msec |
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構造 |
室內規格 (相當於IP65) |
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電源 |
DC 5V ±10% |
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消耗電力 |
1.5W以下 |
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重量 |
350g (本體) |
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感測器 |
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配管材質 |
PFA (氟樹脂) |
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配管外徑 |
1/8 inch OD：3.17mm、ID：2.17mm |
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1/4 inch OD：6.35mm、ID：4.35mm |
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輸出端子 |
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串行端口 |
4線式RS-422, 4線式RS-485 |
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通訊協定 |
資料位元：8bit 固定 奇偶校驗：偶數 (固定) 停止位元：1bit (固定) |
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傳輸速度 |
38400 baud |
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通信輸出内容 |
瞬間流量、累積流量、錯誤代碼 |
如需產品圖檔，請洽廣億科技服務人員，謝謝！