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超音波液體微流量計

μLF-300 系列

.可測定從0開始的微流量液體
.1秒內300次測定高響應性特點
.一體型直管設計方式
.具通訊方式輸出

數量:
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用於半導體製造過程中的微小流量控制,例如IPA,純水,化學溶液

  • 可測量從0 mL / min微流量液體

  • 通過超音波信號處理高精度測量微小流量

  • 感測器與藥液為非接觸式結構

  • 廣泛的可調性

 

SONIC CORPORATION _超音波液體微流量計_ 產品介紹μLF-300系列

   ◆     數位系統崁入式專用

   ◆     使用操作容易、構造簡單

   ◆     具RS-422或RS-485通訊功能

   ◆     可自由決定安裝方向

 

SONIC CORPORATION _超音波液體微流量計_ 產品介紹μLF-300S系列

   ◇     數位崁入式裝置 + 附屬螢幕可確認流量數值

   ◇    可檢出管線中氣泡,檢測更敏銳

   ◇    提供數位與類比二種輸出入的介面

   ◇    感測器小型化,更有利狹小空間

 

 

SONIC CORPORATION

影音專區
 μLF300系列 一體型、分離型流量計
μLF-300 (一體型)

SONIC CORPORATION _超音波液體微流量計_ 產品介紹μLF-300系列 一體型

 

 

μLF-300S (分離型)

SONIC CORPORATION _超音波液體微流量計_ 產品介紹μLF-300S系列 分離型

μLF-300S(分離型)
轉換器

型號

μLF-300S(轉換器)+μLT-8I(1/8 inch)

μLF-300S(轉換器)+μLT-4I(1/4 inch)

測定原理

超音波傳播時間差

可測量液體種類

水、各種藥液

* 水以外的液體,請事先諮詢

液體溫度範圍

15℃80℃

* 60℃以上請事先諮詢

液體壓力

0.5MPa 以下

液體動黏度

100mm^2/sec 以下

流量量測範圍

0 ml/min 1000 ml/min

(μLF-300S + μLT-8I)

0 ml/min 4000 ml/min

(μLF-300S + μLT-4I)

量測精度

±0.5%RD (1/8 inch : 200 1000ml/min 室溫,水的情況下)

±1ml/min (1/8 inch : 0 199ml/min)

±0.5%RD (1/4 inch : 800 4000ml/min室溫,水的情況下)

±4ml/min (1/4 inch : 0 799ml/min)

再現性

±0.2% (液體溫度±0.5℃, 30秒平均值)

電源

DC 24V ±10%

消耗電力

3.6W以下

重量

轉換器 240g、感測器 70g

體積 W x H x D (mm)

轉換器97 x 49 x 127

感測器90 x 25 x 20 (包含配管)

感測器

配管材質

PFA (氟樹脂)

配管外徑

1/8 inch OD3.17mmID2.17mm

1/4 inch OD6.35mm,ID4.35mm

構造

相當於IP65

連接線

標準5m(可延長到30m)

輸出端子

數位輸出入

4線式RS-422, 4線式RS-485

類比輸出

4-20mA (瞬間流量),負載電阻500Ω以下

累計脈波輸出

1ch (開極集)

Alarm輸出

1ch (開極集)

接點輸出

1ch (0流量設定集累計清除)

按鍵輸入

4個輸入按鈕

 

 

 

μLF-300(一體型)

轉換器

型號

μLF-308I (1/8 inch)μLF-304I (1/4 inch)

測定原理

超音波傳播時間差

可測量液體種類

水、各種藥液

* 水以外的液體,請事先諮詢

液體溫度範圍

10℃60℃

* 60℃以上請事先諮詢

環境溫度範圍

0℃50℃ (不結霜的情形下)

流量範圍

0 ml/min 1000 ml/min (μLF-308I)

0 ml/min 4000 ml/min (μLF-304I)

測定精度

±1%RD (1/8 inch : 200 1000ml/min 室溫,水的情況下)

±2ml/min (1/8 inch : 0 199ml/min)

±1%RD (1/4 inch : 800 4000ml/min 室溫,水的情況下)

±8ml/min (1/4 inch : 0 799ml/min)

再現性

±0.2% (液體溫度±0.5℃, 30秒平均值)

響應性

10 msec

構造

室內規格 (相當於IP65)

電源

DC 5V ±10%

消耗電力

1.5W以下

重量

350g (本體)

感測器

配管材質

PFA (氟樹脂)

配管外徑

1/8 inch OD3.17mmID2.17mm

1/4 inch OD6.35mmID4.35mm

輸出端子

串行端口

4線式RS-422

通訊協定

資料位元:8bit 固定  奇偶較驗:偶數 (固定停止位元:1bit (固定)

傳輸速度

38400 baud

通信輸出内容

流量、累積流量、錯誤代碼