用於半導體製造過程中的微小流量控制,例如IPA,純水,化學溶液
● 通過超音波信號處理高精度測量微小流量
● 感測器與藥液為非接觸式結構
● 廣泛的可調性
SONIC CORPORATION
【每次0.22ml】微小流量精度實測
【每次50ml】水+微氣泡流量測試
μLF300S系列 產品介紹
● 過濾微氣泡雜訊,量測更平穩
● 提供數位與類比二種輸出入的介面
● 感測器小型化,更有利狹小空間
轉換器 | |
型號 |
μLF-300S(轉換器)+μLT-8I(1/8 inch)、 μLF-300S(轉換器)+μLT-4I(1/4 inch) |
測定原理 |
超音波傳播時間差 |
可測量液體種類 |
水、各種藥液 |
* 水以外的液體,請事先諮詢 |
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液體溫度範圍 |
15℃~80℃ |
液體壓力 |
0.5MPa 以下 |
液體動黏度 |
100mm^2/sec 以下 |
流量量測範圍 |
0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I) |
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量測精度 |
±0.5%RD (1/8 inch : 200 ~ 1000ml/min 室溫,水的情況下) |
±1ml/min (1/8 inch : 0 ~ 200ml/min) |
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±0.5%RD (1/4 inch : 800 ~ 4000ml/min室溫,水的情況下) |
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±4ml/min (1/4 inch : 0 ~ 800ml/min) |
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再現性 |
±0.2% (液體溫度±0.5℃, 30秒平均值) |
電源 |
DC 24V ±10% |
消耗電力 |
3.6W以下 |
重量 |
轉換器 240g、感測器 70g |
體積 W x H x D (mm) |
轉換器97 x 49 x 127 |
感測器90 x 25 x 20 (包含配管) |
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感測器 |
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配管材質 |
PFA (氟樹脂) |
配管外徑 |
1/8 inch OD:3.17mm、ID:2.17mm |
1/4 inch OD:6.35mm,、ID:4.35mm |
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構造 |
相當於IP65 |
連接線 |
標準5m(可延長到30m) |
輸出端子 |
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數位輸出入 |
4線式RS-422, 4線式RS-485 |
類比輸出 |
4-20mA (瞬間流量),負載電阻500Ω以下 |
累計脈波輸出 |
1ch (開極集) |
Alarm輸出 |
1ch (開極集) |
接點輸出 |
1ch (0流量設定集累計清除) |
按鍵輸入 |
4個輸入按鈕 |
如需產品圖檔,請洽廣億科技服務人員,謝謝!