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倉敷化工
KURASHIKI KAKO
線性馬達型主動式除振台
LHKP、LH、LS、LC 系列
．主動式除振台
．相較於氣壓方式，空氣的使用量少，所以具有更優越的除振功能
．在高頻率領域也可控制
LHKP TYPE
・有優秀的除振效果，同時也具有制振能力
・小型空氣壓縮機也能使用，幾乎無空氣消耗
・作動條件的前饋控制 MFF
(預先輸入載物台的移動方式，即可提升振動控制性能。)
・小型空氣壓縮機也能使用，幾乎無空氣消耗
・作動條件的前饋控制 MFF
(預先輸入載物台的移動方式，即可提升振動控制性能。)
▲圖：主動式除振台-LHKP TYPE
兼具除鎮&制振
LS TYPE
・L系列的旗艦型
・FB・FF控制具有出色的主動隔振性能
・FB・FF控制具有出色的主動隔振性能
▲圖：主動式除振台-LS TYPE
主要用途
・掃描型電子顯微鏡
・掃描型探針顯微鏡
・表面檢查設備等
・掃描型探針顯微鏡
・表面檢查設備等
▲圖：主動式除振台-LS TYPE EST-L5SR ４顆/搭載質量 800kg時
LH TYPE
・圓頂萬向活塞和螺旋彈簧的混和構造
・實現小型化，不佔空間
・適合高重心設備
・實現小型化，不佔空間
・適合高重心設備
▲圖：主動式除振台-LH TYPE
主要用途
・穿透式電子顯微鏡
・掃描型電子顯微鏡等
・掃描型電子顯微鏡等
▲圖：主動式除振台-LH TYPE EST-L6HF-L 4顆/搭載質量 1900kg時
LC TYPE
・提供垂直FB、水平FB、FF等機能需求的選擇
・選擇需求的機能，客製價格合理實惠的主動式除振台
・無須氣壓源
・選擇需求的機能，客製價格合理實惠的主動式除振台
・無須氣壓源
▲圖：主動式除振台-LC TYPE
主要用途
・泛用掃描式電子顯微鏡
・表面檢查設備等
・表面檢查設備等
▲圖：主動式除振台-LC TYPE EST-L100C 4顆/搭載質量 400kg時
延伸閱讀
➤ 為精密設備/儀器解決微振動問題 - Part 1 倉敷化工除振系統解析
➤ 為精密設備/儀器解決微振動問題 - Part 2 模擬報告事前評估
LS TYPE
LH TYPE
LC TYPE
LHKP TYPE
|
|
EST-L6HKP-200L |
EST-L6HKP-200M |
EST-L6HKP-200H |
EST-L8HKP-200 |
|
驅動機構 |
線性馬達 |
|||
|
控制方式 |
FB、FF 6自由度控制、MFF (運動前饋控制) |
|||
|
水平調整方式 |
自動水平 |
|||
|
控制器※1 |
數位式控制 |
|||
|
最大搭載重量(kg)※2 |
340~570 |
460~670 |
570~750 |
640~1250 |
|
外形尺寸(mm) |
315x315 |
350x350 |
||
|
作動時高度(mm) |
220 |
|||
|
製品重量(kg) |
70 |
90 |
||
*1：控制器、電源模組是一體的。
*2：供給氣壓0.6MPa的情況。最大搭載重量、製品重量僅指1台防震制震器時。
*2：供給氣壓0.6MPa的情況。最大搭載重量、製品重量僅指1台防震制震器時。
LS TYPE
| EST-L4SR | EST-L5SR | EST-L6SR | |
| 驅動機構 | 線性馬達 | ||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | ||
| 水平調整方式 | 自動水平 | ||
| 控制器※1 | 數位式控制 | ||
| 最大搭載重量(kg)※2 | 120 | 210 | 390 |
| 外形尺寸(mm) A | 200x200 | 200x200 | 230x230 |
| 安裝尺寸(mm) B | 180x180 | 180x180 | 210x210 |
| 作動時高度(mm) | 169 | 169 | 169 |
| 製品重量(kg) | 10 | 10 | 14 |
LH TYPE
| EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
| 驅動機構 | 線性馬達 | |||||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | |||||
| 水平碉整方式 | 自動水平 | |||||
| 控制器※1 | 數位式控制 | |||||
| 搭載重量(kg)※2 | 190〜320 | 240〜350 | 290〜400 | 340〜570 | 500〜660 | 630〜750 |
| 外形尺寸(mm) A | 220x220 | 240x240 | ||||
| 安裝尺寸(mm) B | 200x200 | 220x220 | ||||
| 作動時高度(mm) | 176 | 185 | ||||
| 製品重量(kg) | 20 | 29 | ||||
LC TYPE
| EST-L100C-☐☐ ※1 | |
| 驅動機構 | 線性馬達 |
| 控制方式 | 垂直FB •水平FBヽFF 6控制 可選配 |
| 水平調整方式 | 手動式水平 |
| 控制器 | 類比式控制※2 |
| 搭載重量(kg)※3 | 25 〜100 |
| 外形尺寸(mm) A | 100 x 100 x 100 |
| 安裝尺寸(mm) B | 92x92 |
| 作動時高度(mm) | 100 |
| 製品重量(kg) | 2.5 |
| LS/LH專用控制器 | LS/LH專用電源 | LC專用FF控制器(選配) | LC專用電源 | |
| 外型 (WxDxHmm) |
150x130x62 | 180x220x100 | 160x250x40 | 160x250x50 |
| 重量(kg) | 1kg | 3 kg | 1.6kg | 1.9kg |
如需產品圖檔，請洽廣億科技服務人員，謝謝！