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倉敷化工 KURASHIKI KAKO      線性馬達型主動式除震台

L Type 系列

.主動式除震台
.相較於氣壓方式,空氣的使用量少,所以具有更優越的除震功能
 ※LC TYPE完全不必使用氣壓
.在高頻率領域也可控制

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 主動式除震台

 相較於氣壓方式,空氣的使用量少,所以具有更優越的除震功能
 ※LC TYPE完全不必使用氣壓

● 在高頻率領域也可控制

 

 

LS TYPE

・L系列的旗艦型

・FB・FF控制具有出色的主動隔震性能

倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LS TYPE

▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LS TYPE

 

 主要用途

・掃描型電子顯微鏡

・掃描型探針顯微鏡

・表面檢查設備等

 倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LS TYPE EST-L5SR 性能

▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LS TYPE EST-L5SR 4顆/搭載質量 800kg時

 

 

LH TYPE

・圓頂萬象活塞和螺旋彈簧的混和構造

・實現小型化,不佔空間

・適合高重心設備

倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LH TYPE

▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LH TYPE

 

主要用途

・穿透式電子顯微鏡

・掃描型電子顯微鏡等

 

倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LH TYPE EST-L6HF-L 性能

▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LH TYPE EST-L6HF-L 4顆/搭載質量 1900kg時

 

 

LC TYPE

・提供垂直FB、水平FB、FF等機能需求的選擇

・選擇需求的機能,客製價格合理實惠的主動式除震台

・無須氣壓源

倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LC TYPE

▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LC TYPE

 

主要用途

・泛用掃描式電子顯微鏡

・表面檢查設備等

 

倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LC TYPE EST-L100C

▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LC TYPE EST-L100C 4顆/搭載質量 400kg時

 

 

LS TYPE

 

KURASHIKI 倉敷化工 _ 主動式除震系統_線性馬達型_LS TYPE 平面尺寸圖

 

 

 

LH TYPE

 

KURASHIKI 倉敷化工 _ 主動式除震系統_線性馬達型_LH TYPE 平面尺寸圖

 

 

 LC TYPE


KURASHIKI 倉敷化工 _ 主動式除震系統_線性馬達型_ LC TYPE 平面尺寸圖

 

LS TYPE
  EST-L4SR EST-L5SR EST-L6SR
驅動機構 線性馬達
控制方式 FB、FF 6自由度控制
水平調整方式 自動水平
控制器※1 數位式控制
最大搭載重量(kg)2 120 210 390
外形尺寸(mm) A 200x200 200x200 230x230
安裝尺寸(mm) B 180x180 180x180 210x210
作動時高度(mm) 169 169 169
製品重量(kg) 10 10 14

 

 

LH TYPE
  EST-L5HR-L EST-L5HR-M EST-L5HR-H EST-L6HF-L EST-L6HF-M EST-L6HF-H
驅動機構 線性馬達
控制方式 FB、FF 6自由度控制
水平碉整方式 自動水平
控制器※1 數位式控制
搭載重量(kg)※2 190〜320 240〜350 290〜400 340〜570 500〜660 630〜750
外形尺寸(mm) A 220x220 240x240
安裝尺寸(mm) B 200x200 220x220
作動時高度(mm) 176 185
製品重量(kg) 20 29

 

 

LC TYPE
  EST-L100-☐☐  ※1
驅動機構 線性馬達
控制方式 垂直FB •水平FBヽFF 6控制 可選配
水平調整方式 手動式水平
控制器 類比式控制※2
搭載重量(kg)※3 25 〜100
外形尺寸(mm) A 100 x 100 x 100
安裝尺寸(mm) B 92x92
作動時高度(mm) 100
製品重量(kg) 2.5

 

 

  LS/LH專用控制器 LS/LH專用電源 LC專用FF控制器(選配) LC專用電源
外型
(WxDxHmm)
150x130x62 180x220x100 160x250x40 160x250x50
重量(kg) 1kg 3 kg 1.6kg 1.9kg