倉敷化工
KURASHIKI KAKO
線性馬達型主動式除震台
L Type 系列
.主動式除震台
.相較於氣壓方式,空氣的使用量少,所以具有更優越的除震功能
※LC TYPE完全不必使用氣壓
.在高頻率領域也可控制
● 主動式除震台
● 相較於氣壓方式,空氣的使用量少,所以具有更優越的除震功能
※LC TYPE完全不必使用氣壓
● 在高頻率領域也可控制
LS TYPE
・L系列的旗艦型
・FB・FF控制具有出色的主動隔震性能
▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LS TYPE
主要用途
・掃描型電子顯微鏡
・掃描型探針顯微鏡
・表面檢查設備等
▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LS TYPE EST-L5SR 4顆/搭載質量 800kg時
LH TYPE
・圓頂萬象活塞和螺旋彈簧的混和構造
・實現小型化,不佔空間
・適合高重心設備
▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LH TYPE
主要用途
・穿透式電子顯微鏡
・掃描型電子顯微鏡等
▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LH TYPE EST-L6HF-L 4顆/搭載質量 1900kg時
LC TYPE
・提供垂直FB、水平FB、FF等機能需求的選擇
・選擇需求的機能,客製價格合理實惠的主動式除震台
・無須氣壓源
▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LC TYPE
主要用途
・泛用掃描式電子顯微鏡
・表面檢查設備等
▲圖:倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LC TYPE EST-L100C 4顆/搭載質量 400kg時
LS TYPE
LH TYPE
LC TYPE
LS TYPE
EST-L4SR | EST-L5SR | EST-L6SR | |
驅動機構 | 線性馬達 | ||
控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | ||
水平調整方式 | 自動水平 | ||
控制器※1 | 數位式控制 | ||
最大搭載重量(kg)※2 | 120 | 210 | 390 |
外形尺寸(mm) A | 200x200 | 200x200 | 230x230 |
安裝尺寸(mm) B | 180x180 | 180x180 | 210x210 |
作動時高度(mm) | 169 | 169 | 169 |
製品重量(kg) | 10 | 10 | 14 |
LH TYPE
EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
驅動機構 | 線性馬達 | |||||
控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | |||||
水平碉整方式 | 自動水平 | |||||
控制器※1 | 數位式控制 | |||||
搭載重量(kg)※2 | 190〜320 | 240〜350 | 290〜400 | 340〜570 | 500〜660 | 630〜750 |
外形尺寸(mm) A | 220x220 | 240x240 | ||||
安裝尺寸(mm) B | 200x200 | 220x220 | ||||
作動時高度(mm) | 176 | 185 | ||||
製品重量(kg) | 20 | 29 |
LC TYPE
EST-L100-☐☐ ※1 | |
驅動機構 | 線性馬達 |
控制方式 | 垂直FB •水平FBヽFF 6控制 可選配 |
水平調整方式 | 手動式水平 |
控制器 | 類比式控制※2 |
搭載重量(kg)※3 | 25 〜100 |
外形尺寸(mm) A | 100 x 100 x 100 |
安裝尺寸(mm) B | 92x92 |
作動時高度(mm) | 100 |
製品重量(kg) | 2.5 |
LS/LH專用控制器 | LS/LH專用電源 | LC專用FF控制器(選配) | LC專用電源 | |
外型 (WxDxHmm) |
150x130x62 | 180x220x100 | 160x250x40 | 160x250x50 |
重量(kg) | 1kg | 3 kg | 1.6kg | 1.9kg |