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倉敷化工 KURASHIKI KAKO 線性馬達型主動式除震台
L Type 系列
．主動式除震台
．相較於氣壓方式，空氣的使用量少，所以具有更優越的除震功能
※LC TYPE完全不必使用氣壓
．在高頻率領域也可控制
● 主動式除震台
● 相較於氣壓方式，空氣的使用量少，所以具有更優越的除震功能
※LC TYPE完全不必使用氣壓
● 在高頻率領域也可控制
LS TYPE
・L系列的旗艦型
・FB・FF控制具有出色的主動隔震性能
▲圖：倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LS TYPE
主要用途
・掃描型電子顯微鏡
・掃描型探針顯微鏡
・表面檢查設備等
▲圖：倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LS TYPE EST-L5SR ４顆/搭載質量 800kg時
LH TYPE
・圓頂萬象活塞和螺旋彈簧的混和構造
・實現小型化，不佔空間
・適合高重心設備
▲圖：倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LH TYPE
主要用途
・穿透式電子顯微鏡
・掃描型電子顯微鏡等
▲圖：倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LH TYPE EST-L6HF-L 4顆/搭載質量 1900kg時
LC TYPE
・提供垂直FB、水平FB、FF等機能需求的選擇
・選擇需求的機能，客製價格合理實惠的主動式除震台
・無須氣壓源
▲圖：倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LC TYPE
主要用途
・泛用掃描式電子顯微鏡
・表面檢查設備等
▲圖：倉敷化工 KURASHIKI_主動式除震台-LC TYPE EST-L100C 4顆/搭載質量 400kg時
LS TYPE
LH TYPE
LC TYPE
LS TYPE
| EST-L4SR | EST-L5SR | EST-L6SR | |
| 驅動機構 | 線性馬達 | ||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | ||
| 水平調整方式 | 自動水平 | ||
| 控制器※1 | 數位式控制 | ||
| 最大搭載重量(kg)※2 | 120 | 210 | 390 |
| 外形尺寸(mm) A | 200x200 | 200x200 | 230x230 |
| 安裝尺寸(mm) B | 180x180 | 180x180 | 210x210 |
| 作動時高度(mm) | 169 | 169 | 169 |
| 製品重量(kg) | 10 | 10 | 14 |
LH TYPE
| EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
| 驅動機構 | 線性馬達 | |||||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | |||||
| 水平碉整方式 | 自動水平 | |||||
| 控制器※1 | 數位式控制 | |||||
| 搭載重量(kg)※2 | 190〜320 | 240〜350 | 290〜400 | 340〜570 | 500〜660 | 630〜750 |
| 外形尺寸(mm) A | 220x220 | 240x240 | ||||
| 安裝尺寸(mm) B | 200x200 | 220x220 | ||||
| 作動時高度(mm) | 176 | 185 | ||||
| 製品重量(kg) | 20 | 29 | ||||
LC TYPE
| EST-L100-☐☐ ※1 | |
| 驅動機構 | 線性馬達 |
| 控制方式 | 垂直FB •水平FBヽFF 6控制 可選配 |
| 水平調整方式 | 手動式水平 |
| 控制器 | 類比式控制※2 |
| 搭載重量(kg)※3 | 25 〜100 |
| 外形尺寸(mm) A | 100 x 100 x 100 |
| 安裝尺寸(mm) B | 92x92 |
| 作動時高度(mm) | 100 |
| 製品重量(kg) | 2.5 |
| LS/LH專用控制器 | LS/LH專用電源 | LC專用FF控制器(選配) | LC專用電源 | |
| 外型 (WxDxHmm) |
150x130x62 | 180x220x100 | 160x250x40 | 160x250x50 |
| 重量(kg) | 1kg | 3 kg | 1.6kg | 1.9kg |