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- 探針掃描顯微鏡(AFM)
- 顯微鏡用載物台
- 光譜分析設備或儀器
- 半導體、FPD(flat-panel display)相關設備
- 曝光設備
- 測繪測量
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型號
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軸向
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行程 |
解析度 |
反覆定位精度 |
共振周波數[Hz] |
載重 [N] |
外型尺寸 |
|
PK1L40-020U-N |
X |
- |
- |
- |
6600 |
5 |
40x70x10 |
|
PK1L60-030U |
X |
30 |
1 |
±1 |
2800 |
10 |
60×70×16 |
|
PK1L45-100U |
X |
100 |
2 |
±2 |
490 |
5 |
45×45×16 |
|
PK2H100-030U |
XY |
30 |
1 |
±1 |
2500 |
50 |
100×100×25 |
|
PK2H130-030U |
XY |
30 |
1 |
±1 |
1500 |
50 |
130×130×30 |
|
PK2H150-050U |
XY |
50 |
2 |
±2 |
1200 |
50 |
150×150×30 |
|
PK2L60-020U-N |
XY |
- |
- |
- |
1700 |
10 |
60x60x10 |
|
PK2L100-080U |
XY |
80 |
2 |
±2 |
530 |
10 |
100×100×30 |
|
PK2L64-100U |
XY |
100 |
2 |
±2 |
300 |
10 |
64×64×30 |
|
PK2L76F-100U |
XY |
100 |
2 |
±2 |
240 |
10 |
76×76×32 |
|
PK2L130-100U |
XY |
100 |
2 |
±2 |
580 |
10 |
130×130×30 |
|
PK2L150-100U |
XY |
100 |
2 |
±2 |
420 |
10 |
150×150×30 |
|
PK2L150-200U |
XY |
200 |
5 |
±5 |
370 |
10 |
150×150×30 |
|
PK2L150-300U |
XY |
300 |
10 |
±10 |
240 |
10 |
150×150×30 |
|
PK2L280-200U |
XY |
200 |
5 |
±5 |
150 |
20 |
280×280×28 |
|
PKVH60-012U |
Z |
12 |
1 |
±1 |
2500 |
10 |
60×60×36 |
|
PKVL64F-100U |
Z |
100 |
2 |
±2 |
480 |
10 |
64×64×30 |
|
PKVL100-100U |
Z |
100 |
2 |
±2 |
480 |
10 |
100×100×30 |
|
PKVL84F-300U |
Z |
300 |
10 |
±10 |
210 |
10 |
84×84×30 |
|
PKVL60-100U |
Z |
100 |
2 |
±2 |
380 |
5 |
74×60×22 |
|
PKVL60-200U |
Z |
200 |
5 |
±5 |
350 |
5 |
74×60×22 |
|
PKMVL160-200U |
Z |
200 |
5 |
±5 |
150 |
10 |
160×240×24 |
|
PK3H130-030UA |
XYZ |
(X,Y) 30、(Z) 20 |
1 |
±1 |
820 |
10 |
130×130×30 |
|
PK3H150-050U |
XYZ |
(X,Y) 50、(Z) 30 |
(X,Y) 2、 (Z) 1 |
(X,Y) ±2、(Z) ±1 |
670 |
10 |
150×150×30 |
|
PK3L150-100UA |
XYZ |
(X,Y) 100、(Z) 30 |
(X,Y) 2、 (Z) 1 |
(X,Y) ±2、(Z )±1 |
430 |
10 |
150×150×30 |
|
PK3L150-100U |
XYZ |
(X,Y) 100、(Z) 100 |
(X,Y) 2、 (Z) 2 |
(X,Y) ±2、(Z) ±2 |
350 |
10 |
150×150×30 |
|
PK3L150-200UA |
XYZ |
(X,Y) 200、(Z) 100 |
(X,Y) 5、 (Z) 2 |
(X,Y) ±5、(Z) ±2 |
280 |
10 |
150×150×30 |
|
PK3L150-300UA |
XYZ |
(X,Y) 300、(Z) 100 |
(X,Y) 10、(Z) 2 |
(X,Y) ±10、(Z) ±2 |
210 |
10 |
150×150×30 |
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