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THK PRECISION           中空型式直動滑台

PK 系列

Stages with an opening
.中央有開口,適用雷射穿透元件、分析儀器
.可客製化

數量:
加入詢價

*日本THK PRECISION原名為NANO CONTROL。

 

移動テーブル中央に開口(透過穴)を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡・分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。
Each stage in this lineup has an opening (penetration hole) in the center of the moving table. These stages are suitable for applications such as laser transmission, micro observation, in which the stage is used in combination with a microscope or an analyzer, and high-accuracy mapping measurement.

 

コンパクトから大開口まで
Available from a compact to large openings

小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。
The stages are available in various openings, from a compact-opening type, which is suitable for small devices, to a large-opening type, in which a large panel substrate can be aligned.

 

スムーズで精確なスキャニング
Smooth and accurate scanning

高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。
Each stage is capable of performing a highly-reliable operation according to a command signal thanks to high-accuracy feedback control.

 

製品応用例
Applications
  • 走査型プローブ顕微鏡
  • 顕微鏡試料テーブル
  • 分光分析機器
  • 半導体、FPD関連装置
  • 露光装置
  • マッピング測定
     
  • SPM,AFM
  • Microscope tables
  • Spectroscopic instruments
  • Semiconductor & FPD-related inspections
  • Photolithography systems, Exposure devices
  • Mapping measurements

 

 

THK PRECISION _ 超精密定位用壓電滑台_ 中空形式直動滑台_ 產品介紹PK系列

型號

 

軸向

 

行程
[μm]

解析度
[nm]

反覆定位精度
[nm]

共振周波數[Hz]

載重

[N]

外型尺寸
[mm]

PK1L40-020U-N

X

-

-

-

6600

5

40x70x10

PK1L60-030U

X

30

1

±1

2800

10

60×70×16

PK1L45-100U

X

100

2

±2

490

5

45×45×16

PK2H100-030U

XY

30

1

±1

2500

50

100×100×25

PK2H130-030U

XY

30

1

±1

1500

50

130×130×30

PK2H150-050U

XY

50

2

±2

1200

50

150×150×30

PK2L60-020U-N

XY

-

-

-

1700

10

60x60x10

PK2L100-080U

XY

80

2

±2

530

10

100×100×30

PK2L64-100U

XY

100

2

±2

300

10

64×64×30

PK2L76F-100U

XY

100

2

±2

240

10

76×76×32

PK2L130-100U

XY

100

2

±2

580

10

130×130×30

PK2L150-100U

XY

100

2

±2

420

10

150×150×30

PK2L150-200U

XY

200

5

±5

370

10

150×150×30

PK2L150-300U

XY

300

10

±10

240

10

150×150×30

PK2L280-200U

XY

200

5

±5

150

20

280×280×28

PKVH60-012U

Z

12

1

±1

2500

10

60×60×36

PKVL64F-100U

Z

100

2

±2

480

10

64×64×30

PKVL100-100U

Z

100

2

±2

480

10

100×100×30

PKVL84F-300U

Z

300

10

±10

210

10

84×84×30

PKVL60-100U

Z

100

2

±2

380

5

74×60×22

PKVL60-200U

Z

200

5

±5

350

5

74×60×22

PKMVL160-200U

Z

200

5

±5

150

10

160×240×24

PK3H130-030UA

XYZ

(X,Y) 30(Z) 20

1

±1

820

10

130×130×30

PK3H150-050U

XYZ

(X,Y) 50(Z) 30

(X,Y) 2

(Z) 1

(X,Y) ±2(Z) ±1

670

10

150×150×30

PK3L150-100UA

XYZ

(X,Y) 100(Z) 30

(X,Y) 2

(Z) 1

(X,Y) ±2(Z )±1

430

10

150×150×30

PK3L150-100U

XYZ

(X,Y) 100(Z) 100

(X,Y) 2

(Z) 2

(X,Y) ±2(Z) ±2

350

10

150×150×30

PK3L150-200UA

XYZ

(X,Y) 200(Z) 100

(X,Y) 5

(Z) 2

(X,Y) ±5(Z) ±2

280

10

150×150×30

PK3L150-300UA

XYZ

(X,Y) 300(Z) 100

(X,Y) 10(Z) 2

(X,Y) ±10(Z) ±2

210

10

150×150×30