ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。 角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。
The rotation and angle can be adjusted with a piezo drive. Each stage excels in high-speed oscillation and angular resolution despite a slight angular displacement, and is suitable for applications such as minute-angle alignment for an optical device and precision face matching.
A rotary guide with an elastic hinge mechanism
独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。
摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。
An originally designed elastic hinge mechanism magnifies slight expansion and contraction in displacement of the piezo element, and supports stable rotary motion.
With no friction or abrasion, the product excels in smooth and high-speed motion, and is suitable for the adjustment of minute angles.
Applications
- レーザ光軸調整
- 精密平行面合わせ
- 光学デバイス微小角調整
- チルト調整
- キャビティ長調整
- Laser optical axis adjustment
- Precision parallel mating
- Small angle adjustment
- Tilt adjustment
- Cavity length adjustment
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Rotary type | Goniometry type | Tilting (+rise/fall) type |
可調整傾角 & Z軸 |
型號
|
應用
|
最大偏轉角
|
解析度
|
共振周波數[Hz] |
載重 [N] |
外型尺寸 |
PT1C80-050S |
旋轉 |
50"[秒] ≒0.014°≒0.2mrad |
0.05"[秒] ≒0.24μrad |
5550 |
10 |
80×90×20 |
PT1C60-800S |
旋轉 |
800"[秒] ≒0.22°≒3.9mrad |
0.05[秒] ≒0.24μrad |
640 |
10 |
60×60×20 |
PT1C60-1800S |
旋轉 |
1800"[秒] ≒0.50°≒ 8.7mrad |
0.2"[秒] ≒1.0μrad |
240 |
10 |
60×70×30 |
PT1G100-300S | 傾角 |
300"[秒] ≒0.08°≒1.5mrad |
0.02"[秒] ≒0.10μrad |
260 | 20 | 100×100×30 |
PT1G100-500S | 傾角 |
500"[秒] ≒0.14°≒2.4mrad |
0.02"[秒] ≒0.10μrad |
260 | 20 | 100×100×30 |
型號
|
應用
|
最大偏轉角、移動量 |
解析度 |
共振周波數[Hz] |
載重 [N] |
外型尺寸 |
||
傾斜 |
昇降 |
傾斜 |
昇降 |
|||||
PT1T60-500S |
傾斜 |
500"[秒] ≒0.14°≒2.4mrad |
- |
0.02"[秒] ≒0.10μrad |
- |
1800 |
10 |
60×60×30 |
PT3V80F-400S |
傾斜 |
±400"[秒] ≒±0.11°≒±1.9mrad |
100μm |
0.02"[秒] ≒0.10μrad |
2nm |
270 |
10 |
80×80×32 |
PT3V100-800S |
傾斜 |
±800"[秒] ≒±0.22°≒±3.9mrad |
300μm |
0.04"[秒] ≒0.19μrad |
10nm |
230 |
10 |
100×100×32 |
如需產品圖檔,請洽廣億科技服務人員,謝謝!