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THK PRECISION
回轉・傾角型滑台

PT 系列

Rotary/tilting stages
.可用於反射鏡、繞射光柵製程
.可客製化

數量:
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ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。 角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。
The rotation and angle can be adjusted with a piezo drive. Each stage excels in high-speed oscillation and angular resolution despite a slight angular displacement, and is suitable for applications such as minute-angle alignment for an optical device and precision face matching.

 

弾性ヒンジ機構による回転案内
A rotary guide with an elastic hinge mechanism

独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。
摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。

An originally designed elastic hinge mechanism magnifies slight expansion and contraction in displacement of the piezo element, and supports stable rotary motion.
With no friction or abrasion, the product excels in smooth and high-speed motion, and is suitable for the adjustment of minute angles.

 

製品応用例
Applications
  • レーザ光軸調整
  • 精密平行面合わせ
  • 光学デバイス微小角調整
  • チルト調整
  • キャビティ長調整
     
  • Laser optical axis adjustment
  • Precision parallel mating
  • Small angle adjustment
  • Tilt adjustment
  • Cavity length adjustment

 

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動作示意圖
Rotary type Goniometry type  Tilting (+rise/fall) type
THK PRECISION  piezo stage rotary type THK PRECISION  piezo stage goniometry type THK PRECISION  piezo stage tilting type
可調整傾角 & Z軸

 

型號表

 

型號

 

應用

 

最大偏轉角

 

解析度

 

共振周波數[Hz]

載重

[N]

外型尺寸
[mm]

PT1C80-050S

旋轉

50"[]

≒0.014°≒0.2mrad

0.05"[]

0.24μrad

5550

10

80×90×20

PT1C60-800S

旋轉

800"[]

≒0.22°≒3.9mrad

0.05[]

≒0.24μrad

640

10

60×60×20

PT1C60-1800S

旋轉

1800"[]

≒0.50°≒ 8.7mrad

0.2"[]

≒1.0μrad

240

10

60×70×30

PT1G100-300S 傾角

300"[]

≒0.08°≒1.5mrad

0.02"[]

≒0.10μrad

260 20 100×100×30
PT1G100-500S 傾角

500"[]

≒0.14°≒2.4mrad

0.02"[]

≒0.10μrad

260 20 100×100×30

 

 

型號

 

應用

 

最大偏轉角、移動量

解析度

共振周波數[Hz]

載重

[N]

外型尺寸
[mm]

傾斜

昇降

傾斜

昇降

PT1T60-500S

傾斜

500"[秒] ≒0.14°≒2.4mrad

-

0.02"[秒]

≒0.10μrad

-

1800

10

60×60×30

PT3V80F-400S

傾斜

±400"[秒]

≒±0.11°≒±1.9mrad

100μm

0.02"[秒]

≒0.10μrad

2nm

270

10

80×80×32

PT3V100-800S

傾斜

±800"[秒]

≒±0.22°≒±3.9mrad

300μm

0.04"[秒]

≒0.19μrad

10nm

230

10

100×100×32

如需產品圖檔,請洽廣億科技服務人員,謝謝!