超精密定位用壓電滑台-標準直動 _ PS系列 _ THK PRECISION

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

Standard linear stages constitute a basic series among the piezo stage lineup, which ranges from single-axis types to integrated three-axes types with various strokes.

2つの機構で性能分類
Classification of performances with two mechanisms

高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。
The mechanisms are classified into a "direct-drive mechanism," which has a high resonant frequency and is focused on high-speed response, and a "displacement magnification mechanism," which secures a stroke.

直接駆動機構
Direct-drive mechanism

圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。
A mechanism in which a piezo-electric elements directly moves the table. It excels in resolution and response thanks to a short stroke. With high rigidity, it is capable of performing stable positioning even under a large load.

変位拡大機構
Displacement magnification mechanism

圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
The product has a mechanism for mechanically amplifying the elongation of the piezo-electric element. A stroke several times to more than ten times longer than the direct-drive type can be obtained according to the magnification ratio. Feedback control with the built-in displacement sensor also enables the positioning reproducibility to be maintained.

製品応用例
Applications

半導体、FPD検査装置
HDDテスタ
レーザ光学系アライメント
干渉系機器
分析機器
ナノメータポジショニング
Semiconductor and FPD inspection
HDD Tester
Laser optic alignment
Interferometer devices
Analytical Instruments
Nanometer positioning

影音專區

PS1H 壓電滑台微動

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THK PRECISION _ 超精密定位用壓電滑台_ 標準直動壓電滑台_ 產品介紹PS系列

型號	軸向	行程 [μm]	解析度 [nm]	反覆定位精度 [nm]	共振周波數[Hz]	載重 [N]	外型尺寸 [mm]
PS1H25-006U	X	6	1	±1	13000	5	25×30×16
PS1H35-006U	X	6	1	±1	9700	10	35×35×16
PS1H45-012U	X	12	1	±1	6200	10	45×45×16
PS1H60F-012U	X	12	1	±1	4100	50	60×60×20
PS1H40F-020U	X	20	1	±1	4100	30	48×60×13.5
PS1H60-020U	X	20	1	±1	3300	10	60×60×16
PS1H80-030U	X	30	1	±1	1900	10	80×80×16
PS1H80F-030U	X	30	1	±1	1900	50	80×80×20
PS1L45-030U	X	30	1	±1	1500	10	45×50×20
PS1L40-050U	X	50	2	±2	970	5	40×45×15
PS1L60-060U	X	60	2	±2	1300	10	60×70×20
PS1L40-100U	X	100	2	±2	510	5	40×45×15
PS1L65-250U	X	250	10	±10	360	5	65×65×15
PS1L66-500U	X	500	20	±20	200	5	66×66×17
PS1L80-700U	X	700	30	±30	106	5	80×80×20
PS2H60-012U	XY	12	1	±1	2000	10	60×80×25
PS2H95-012U	XY	12	1	±1	3800	10	95×95×25
PS2H60-030U	XY	30	1	±1	1600	10	60×80×25
PS2H110-030U	XY	30	1	±1	3400	10	110×110×25
PS2L50-050U	XY	50	2	±2	420	5	50×50×25
PS2L92-050U	XY	50	2	±2	1300	10	92×92×25
PS2L100-080U	XY	80	2	±2	480	10	100×100×30
PS2L50-100U	XY	100	2	±2	280	5	50×50×25
PS2L60-250U	XY	250	10	±10	120	5	60×60×26
PSVH35-006U	Z	6	1	±1	3500	10	35×35×26
PSVH45-012U	Z	12	1	±1	2600	10	45×45×36
PSVH60F-012U	Z	12	1	±1	1600	50	60×60×40
PSVH80F-030U	Z	30	1	±1	1200	50	80×80×60
PSVL45-060U	Z	60	2	±2	570	5	45×45×32
PSVL45F-100U	Z	100	2	±2	300	10	45×45×32
PSVL60-100U	Z	100	2	±2	380	5	60×60×32
PSVL60F-100U	Z	100	2	±2	270	10	60×60×38
PSVL60F-150U	Z	150	5	±5	190	10	60×60×32
PSVL80F-300U	Z	300	10	±10	180	10	80×80×38
PS3H70-020UA	XYZ	20 (XY) 12 (Z)	1	±1	970	10	80×70×65
PS3H120-030U	XYZ	30	1	±1	740	10	120×120×30
PS3L100-080UA	XYZ	80 (XY) 20 (Z)	2 (XY) 1 (Z)	±2 (XY) ±1 (Z)	400	10	100×100×30
PS3L68-100U	XYZ	100	2	±2	250	5	68×68×40

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