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THK PRECISION           標準直動壓電滑台

PS 系列

Standard linear stages
.1~3軸為一體式構造
.可客製化

數量:
加入詢價

*日本THK PRECISION原名為NANO CONTROL。

 

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

Standard linear stages constitute a basic series among the piezo stage lineup, which ranges from single-axis types to integrated three-axes types with various strokes.

 

2つの機構で性能分類
Classification of performances with two mechanisms

高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。
The mechanisms are classified into a "direct-drive mechanism," which has a high resonant frequency and is focused on high-speed response, and a "displacement magnification mechanism," which secures a stroke.

 

直接駆動機構
Direct-drive mechanism
  • 圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
  • ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
  • 剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。
     
  • A mechanism in which a piezo-electric elements directly moves the table.
  • It excels in resolution and response thanks to a short stroke.
  • With high rigidity, it is capable of performing stable positioning even under a large load.

 

変位拡大機構
Displacement magnification mechanism
  • 圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
  • 拡大率により、直接駆動の数倍~十数倍のストロークが得られます。
  • 内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。
     
  • The product has a mechanism for mechanically amplifying the elongation of the piezo-electric element.
  • A stroke several times to more than ten times longer than the direct-drive type can be obtained according to the magnification ratio.
  • Feedback control with the built-in displacement sensor also enables the positioning reproducibility to be maintained.

 

製品応用例
Applications
  • 半導体、FPD検査装置
  • HDDテスタ
  • レーザ光学系アライメント
  • 干渉系機器
  • 分析機器
  • ナノメータポジショニング
     
  • Semiconductor and FPD inspection
  • HDD Tester
  • Laser optic alignment
  • Interferometer devices
  • Analytical Instruments
  • Nanometer positioning

 

 

影音專區

PS1H 壓電滑台微動

THK PRECISION _ 超精密定位用壓電滑台_ 標準直動壓電滑台_ 產品介紹PS系列

型號

 

軸向

 

行程
[μm]

解析度
[nm]

反覆定位精度
[nm]

共振周波數[Hz]

載重
[N]

外型尺寸
[mm]

PS1H25-006U

X

6

1

±1

13000

5

25×30×16

PS1H35-006U

X

6

1

±1

9700

10

35×35×16

PS1H45-012U

X

12

1

±1

6200

10

45×45×16

PS1H60F-012U

X

12

1

±1

4100

50

60×60×20

PS1H40F-020U

X

20

1

±1

4100

30

48×60×13.5

PS1H60-020U

X

20

1

±1

3300

10

60×60×16

PS1H80-030U

X

30

1

±1

1900

10

80×80×16

PS1H80F-030U

X

30

1

±1

1900

50

80×80×20

PS1L45-030U

X

30

1

±1

1500

10

45×50×20

PS1L40-050U

X

50

2

±2

970

5

40×45×15

PS1L60-060U

X

60

2

±2

1300

10

60×70×20

PS1L40-100U

X

100

2

±2

510

5

40×45×15

PS1L65-250U

X

250

10

±10

360

5

65×65×15

PS1L66-500U

X

500

20

±20

200

5

66×66×17

PS1L80-700U

X

700

30

±30

106

5

80×80×20

PS2H60-012U

XY

12

1

±1

2000

10

60×80×25

PS2H95-012U

XY

12

1

±1

3800

10

95×95×25

PS2H60-030U

XY

30

1

±1

1600

10

60×80×25

PS2H110-030U

XY

30

1

±1

3400

10

110×110×25

PS2L50-050U

XY

50

2

±2

420

5

50×50×25

PS2L92-050U

XY

50

2

±2

1300

10

92×92×25

PS2L100-080U

XY

80

2

±2

480

10

100×100×30

PS2L50-100U

XY

100

2

±2

280

5

50×50×25

PS2L60-250U

XY

250

10

±10

120

5

60×60×26

PSVH35-006U

X

6

1

±1

3500

10

35×35×26

PSVH45-012U

X

12

1

±1

2600

10

45×45×36

PSVH60F-012U

X

12

1

±1

1600

50

60×60×40

PSVH80F-030U

X

30

1

±1

1200

50

80×80×60

PSVL45-060U

X

60

2

±2

570

5

45×45×32

PSVL45F-100U

X

100

2

±2

300

10

45×45×32

PSVL60-100U

X

100

2

±2

380

5

60×60×32

PSVL60F-100U

X

100

2

±2

270

10

60×60×38

PSVL60F-150U

X

150

5

±5

190

10

60×60×32

PSVL80F-300U

X

300

10

±10

180

10

80×80×38

PS3H70-020UA

XYZ

20 (XY)
12 (Z)

1

±1

970

10

80×70×65

PS3H120-030U

XYZ

30

1

±1

740

10

120×120×30

PS3L100-080UA

XYZ

80 (XY)
20 (Z)

2 (XY)
1 (Z)

±2 (XY)
±1 (Z)

400

10

100×100×30

PS3L68-100U

XYZ

100

2

±2

250

5

68×68×40