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THK PRECISION           對物調焦鏡專用滑台

PF 系列

For objective lens focusing
.高速高精度焦距調整
.可客製化

數量:
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対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージです。 顕微鏡や各種の検査・測定装置、観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が可能になります。
These are piezo stages exclusively designed for adjusting the focus of objective lenses. Being incorporated in a microscope, inspection/measurement devices or observation equipment, they can speed-up lens focusing and improve the accuracy.

 

各メーカの対物レンズが取り付け可能
Objective lenses of various manufacturers can be fitted.
  • 各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。
  • 別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。
  • 規格外のレンズの取り付けもご相談ください。
     
  • Four thread sizes are selectable from in order to accommodate different manufacturers'lens thread diameters.
  • An optional thread diameter conversion adapter is also available.
  • Fitting of a non-standard lens is also negotiable.

 

選べる4つのタイプ
Four types are selectable

【横型タイプ】

  • 本体の厚みを抑えた構造です。
  • ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。
     

【Horizontal type】

  • This type has a structure with a thin body.
  • Since it offers various strokes, it is recommended to select this type if a stage for a long travel distance is required.

 

【縦型タイプ】

  • 剛性が高く応答性を重視したタイプです。
  • 重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。
     

【Vertical type】

  • This type has high rigidity and is focused on response.
  • It is suitable for cases where a heavy lens or a lens with a long tube is used, or cases where a high-speed focusing is desired.

 

【箱型タイプ】

  • 対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。
  • 4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。

 

【Box type】

  • This type has a double-supported structure that is symmetrical around the objective lens, and is capable of providing stable focusing even with a heavy lens.
  • This product can be securely installed and fixed with four screws, and 1s suitable for incorporation in a manufacturing system or an inspection device.

 

【鏡筒用】

  • 顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。

 

【For microscope tube】

  • With a microscope tube attached, it can be finely adjusted toward the focusing direction.

 

製品応用例
Applications
  • 高速フォーカス
  • 画像処理機器
  • 共焦点顕微鏡
  • レーザ加工
  • 半導体、FPD装置
  • 干渉計形状測定
     
  • High-speed focusing
  • Image processors
  • Confocal microscopes
  • Laser processing
  • Semiconductor and FPD inspection devices
  • Interferometer shape measurement

 

 

型號

 

形式

 

行程
[μm]

解析度
[nm]

反覆定位精度
[nm]

共振周波數[Hz]

PFHC***-015U

臥式

15

1

±1

950

PFHW***-015U

臥式

15

1

±1

680

PFHC***-100U

臥式

100

2

±2

520

PFHW***-100U

臥式

100

2

±2

430

PFHW***-200U

臥式

200

5

±5

370

PFHW***-300U

臥式

300

10

±10

300

PFHW***-400U

臥式

400

20

±20

240

PFVC***-100U

垂直型

100

2

±2

1000

PFVW***-100U

垂直型

100

2

±2

750

PFVW***-200U

垂直型

200

5

±5

490

PFB*-030U

箱型

30

1

±1

3100

PFB*-100U

箱型

100

2

±2

490

PFB*-300U

箱型

300

10

±10

210

PFR150-080U

鏡筒型

80

2

±2

590