THK PRECISION
應變計型式壓電滑台
PG 系列
A general-purpose type with a strain gauge
．感應器屬於應變計型式(電阻式)
．可客製化
壓電滑台的基本系列，採用「應變計」作為內建位移感測器，以低成本開發的通用壓電滑台。
可達到20nm的運動解析度，利用回饋控制可實現滑台高度可靠的定位，並具備出色的高速響應性。
可達到20nm的運動解析度，利用回饋控制可實現滑台高度可靠的定位，並具備出色的高速響應性。
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|
型號
|
軸向
|
行程 |
解析度 |
反覆定位精度 |
共振周波數[Hz] |
載重 [N] |
外型尺寸 |
|
PS1L60-200U-S |
X |
200 |
20 |
±20 |
470 |
5 |
60×60×26 |
|
PS1L60-400U-S |
X |
400 |
50 |
±50 |
290 |
5 |
60×60×26 |
|
PS2L80-200U-S |
XY |
200 |
20 |
±20 |
170 |
5 |
80×80×25 |
|
PS2L90-400U-S |
XY |
400 |
50 |
±50 |
155 |
5 |
90×90×25 |
|
PSVL60-200U-S |
Z |
200 |
20 |
±20 |
390 |
5 |
60×60×30 |
|
PSVL60-400U-S |
Z |
400 |
50 |
±50 |
270 |
5 |
60×60×30 |
|
PFHW**-200U-S |
對物調焦用 |
200 |
20 |
±20 |
380 |
- |
60×74×24 |
|
PFHW**-400U-S |
對物調焦用 |
400 |
50 |
±50 |
250 |
- |
60×74×24 |
|
PFHC2020-800U-S |
對物調焦用 |
800 |
100 |
±100 |
120 |
- |
40×114×36 |
如需產品圖檔，請洽廣億科技服務人員，謝謝！