THK PRECISION
應變計型式壓電滑台
PG 系列
A general-purpose type with a strain gauge
．感應器屬於應變計型式(電阻式)
．可客製化
内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。
20nmの移動分解能とフィードバック制御により信頼性の高い位置決めが行え、優れた高速応答性を備えています。
This is a general-purpose piezo stage developed at a low cost by adopting a strain gauge type sensor as the built-in displacement sensor. Capable of performing highly reliable positioning with a 20nm displacement resolution and feedback control, this stage has an excellent high-speed response.
➤ 完全守備！廣億科技模組滑台滿足全精度範圍！
➤ 模組派與組裝派大車拚，通通看過來！
➤ 精度從1nm到μm，壓電滑台、自動滑台皆可提案！
➤ 遍尋不著合適的壓電滑台產品嗎？可與我們聊聊客製化設計！
➤ 「1奈米高解析度」、「可客製化」的壓電滑台
➤ LoadCell新選擇-微小力應力感測器
➤ 全方位精密滑台提案，設計需求一次滿足！
|
型號
|
軸向
|
行程 |
解析度 |
反覆定位精度 |
共振周波數[Hz] |
載重 [N] |
外型尺寸 |
|
PS1L60-200U-S |
X |
200 |
20 |
±20 |
470 |
5 |
60×60×26 |
|
PS1L60-400U-S |
X |
400 |
50 |
±50 |
290 |
5 |
60×60×26 |
|
PS2L80-200U-S |
XY |
200 |
20 |
±20 |
170 |
5 |
80×80×25 |
|
PS2L90-400U-S |
XY |
400 |
50 |
±50 |
155 |
5 |
90×90×25 |
|
PSVL60-200U-S |
Z |
200 |
20 |
±20 |
390 |
5 |
60×60×30 |
|
PSVL60-400U-S |
Z |
400 |
50 |
±50 |
270 |
5 |
60×60×30 |
|
PFHW**-200U-S |
對物調焦用 |
200 |
20 |
±20 |
380 |
- |
60×74×24 |
|
PFHW**-400U-S |
對物調焦用 |
400 |
50 |
±50 |
250 |
- |
60×74×24 |
|
PFHC2020-800U-S |
對物調焦用 |
800 |
100 |
±100 |
120 |
- |
40×114×36 |
如需產品圖檔，請洽廣億科技服務人員，謝謝！